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蝕刻阻擋片加工流程

文章出處:本站  責任編輯:Editor  人氣:98  發表時間:2025-4-25 9:36:37  【

 

蝕刻阻擋片加工是一種精密的加工工藝,以下是關于蝕刻阻擋片的詳細說明

一、蝕刻阻擋片加工流程

1.**設計與準備**:根據需求設計阻擋片圖案,使用專業軟件制作出掩膜版。選擇合適的金屬材料作為基材,如不銹鋼、銅合金等,同時確保材料表面平整、無瑕疵、無氧化層和油污等雜質。

2.**清潔表面**:采用機械清潔方式,如用砂紙打磨去除氧化層,再利用化學清潔方法,如酒精、丙酮等溶劑清洗,去除油污和有機雜質,保證后續涂覆抗蝕層的附著效果。

3.**涂覆抗蝕層**:可采用光刻法,均勻地在金屬表面涂布光敏抗蝕劑,如光刻膠;也可采用絲網印刷或手工涂覆的方式,使用耐酸油墨等覆蓋非蝕刻區域。

4.**曝光與顯影**:通過紫外光照射,將掩膜版上的圖案轉移到涂覆了光刻膠的金屬表面,使光刻膠發生化學反應。然后使用顯影液溶解未曝光或曝光部分的光刻膠,暴露出需要蝕刻的金屬區域。

5.**蝕刻**:將處理好的金屬板浸入特定的蝕刻液中,或采用噴灑蝕刻液的方式進行蝕刻。蝕刻液會與暴露的金屬發生化學反應,將其溶解掉,而抗蝕層保護的區域則不會被腐蝕。要嚴格控制蝕刻時間、溫度、蝕刻液濃度等參數,以確保蝕刻的精度和質量。

6.**去除抗蝕層**:蝕刻完成后,用溶劑,如氫氧化鈉溶液或丙酮等,清洗掉抗蝕劑,再次用清水和酒精清潔金屬表面,使其恢復金屬光澤。

7.**后處理**:根據需要進行拋光、電鍍或噴涂保護層等后處理工藝,以提升其美觀度、耐腐蝕性和耐磨性等性能。

二、常用蝕刻阻擋片方法

1.**濕法蝕刻**:利用化學反應選擇性地去除材料,成本相對較低,適用于各種金屬材料和復雜形狀的加工,但蝕刻精度可能受到化學反應均勻性和時間控制等因素的影響。

2.**干法蝕刻**:包括物理氣相蝕刻和化學氣相蝕刻等,通過物理或化學的方法使材料在氣態環境下被去除,具有較高的蝕刻精度和側壁垂直度,適合加工微米級甚至納米級的精細圖案,但設備成本和加工成本相對較高。

三、質量檢測

主要檢測尺寸精度、形狀精度、表面質量等。

尺寸精度可通過測量蝕刻圖案的線寬、間距等參數來評估,要求其在規定的公差范圍內;

形狀精度則關注蝕刻圖案的邊緣整齊度、側壁垂直度等;

表面質量檢查是否有殘留的抗蝕層、蝕刻液,以及是否存在劃痕、腐蝕斑點等缺陷。

四、應用領域

蝕刻阻擋片廣泛應用于電子、半導體、機械制造等領域,

在半導體制造中用于形成精細的電路圖案,作為芯片制造過程中的關鍵工序之一;

在電子行業的電路板制作中,用于制作線路板上的導電線路和焊盤等;

在機械制造中,用于加工各種精密的金屬零部件,如齒輪、軸承、模具等。

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